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双室磁控溅射沉积系统
联系人
蒋长军
型号
JGP-560C
联系电话
15379020369
邮箱
jiangchj@lzu.edu.cn
规格
放置地点
Array1012
生产厂家
沈阳中科仪
制造国家
中国
购置日期
2014-04-22 00:00:00
入网日期
2019-05-26 00:42:46
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
薄膜生长，真空1e-5Pa
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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