主要规格及技术指标

AFM：样品尺寸：210mm 真空吸盘样品台；
测试范围50nm x 50nm至90μm x 90μm。
定位检测噪声：X-Y定位噪音(闭环)：<0.15nm RMS，典型成像带宽(达到625Hz)。X-Y定位噪音(开环)：<0.10nm RMS，典型成像带宽(达到625Hz)
表面光电压：1.粉末样品需研磨成细小颗粒。（粉末样品装在玻璃瓶或塑料管中，请勿放在样品袋中，以避免静电影响取样） 用量：堆积体积不少于 0.3ml。 2.薄膜样品要求有一定厚度面积最好为20mm*5mm~~40mm*15mm，类似于电化学工作电极

主要功能及特色

AFM：测量材料表面的形貌
表面光电压：薄膜样品、半导体、晶体的表面光电压、表面光电流、光伏相位(波长 300~1100mm) ， 瞬态表面光电压(激光波长 355mm)

主要附件及配置

电脑（Win 10及Nanoscope 9 ）、Nanoscope V控制器 （Nanoscope V控制器 ）、Dimension Stage控制器 （控制器用来控制系统抽真空或供气，以及光学照明）、扫描器（Icon使用管式扫描器，可实现高精度的横向和纵向伸缩，用来扫描得到样品的三维形貌）、光学辅助系统（光学辅助系统用来观察样品，找到合适的测量区域）、样品台（光学辅助系统用来观察样品，找到合适的测量区域）、探针夹（该探针夹可以用于空气中除了使用 Application Module的电学测量模式、扭转共振模式、力调制模式以外的其他所有模式）