主要规格及技术指标

分析室真空度：5.0×10-8Pa
进样及样品处理室真空度：7.0×10-7Pa
X射线分析尺寸可在20-900µm之间连续可调，调节步长10µm
能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨率≤1.0eV，光源功率≤300W，计数率强度高于4Mcps
对Ag3d5/2峰能量分辨率≤0.5eV，计数率强度高于600Kcps
能量分辨率优于0.44eV
成像XPS对锐利刃口样品，线扫描的最佳空间分辨率优于3 µm
电荷中和系统对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C1s峰能量分辨率优于0.82eV时，C-C结构中C1s峰的灵敏度优于60Kcps
离子散射谱1KeV He离子作用于清洁金表面，能量分辨率优于12eV，灵敏度应优于25Kcpa/nA
同轴反射电子能量损失谱对于净的银样品，能量分辨率为0.5eV时，灵敏度不低于1000Kcps
Ar离子源最大束流6 µA
UPS紫外光电子能谱对Ag费米边能量分辨率应不大于100meV，Ag4d灵敏度≥1,000,000cps
样品原位加热温度25-800℃

主要功能及特色

通过测量不同能量的光电子的数目，分析光电子动能与相对强度可获得样品的相关结构信息。XPS具有极低的元素检测限（原子百分比为0.1 %），可测试分析材料样品表面0.1 nm厚度内的元素结构信息，确定元素的相对含量，判断元素的化学环境和赋存状态。此外，可利用XPS进行微区元素化学形态、分布特征，以及深度剖析、高分辨成像等方面的原位分析，揭示材料显微结构与微区化学组成之间的内在联系。

主要附件及配置

仪器主体包含分析室、进样及样品处理室；各室配备独立的超高真空抽气系统；包括单色化Al XPS、微区XPS、离子散射谱ISS、UPS紫光光电子能谱、同轴REELS反射电子能量损失谱、ARXPS角分辨分析、平行成像XPS、自动化五轴样品台、原位变温台、气氛敏感样品传输器等