主要规格及技术指标

电子光学：
电 子 枪： 肖特基热场发射电子枪
物镜类型： 电磁物镜结构，不漏磁，可以测试磁性样品
分 辨 率：高真空模式（SE）1.0 nm@30kv, 2.0 nm@3kv， 3.5 nm@1kv
放大倍数： 2 × - 1,000,000 ×（显示器放大倍率）
视野范围： >12 mm @ WD=15 mm, >50 mm @ 最大工作距离
加速电压： 200 V - 30 kV
探针电流： 2 pA – 400nA

扫描特性：
扫描速度：从20 ns至10 ms/像素，可阶段或连续式的调整
扫描特征：全幅图像扫描、选中区域扫描、点&线扫描
图像移动，扫描旋转，倾斜补偿
线累积和帧累积
动态聚焦，帧累积漂移校正（DCFA）
真空系统：
样品室真空：高真空模式：< 9×10-3 Pa*
低真空模式：30Pa±10Pa
镜筒真空：< 9×10-3 Pa*
更换样品后抽真空时间：< 5分钟

样品室：自动矿物分析系统、能谱仪与拉曼系统共用
样品室：宽度：340mm
深度：389mm
端口：20个

样品台：
类型：马达驱动专用摇篮台
移动：X=256 mm Y=152 mm Z=52mm （Z轴移动步进幅度＜100nm）
旋转：360度连续
倾斜：-3度到+70度
最大样品重量：8Kg
矿物专用样品台：可同时容纳 15 个样品 (直径为30 mm 的树脂靶)或22个25mm样品或9个27×47mm薄片样品台
探测器：

二次电子探测器 - 样品仓内
可伸缩式背散射电子探测器-样品仓内
In-Beam二次电子探测器-镜筒内的二次电子探测器，提供高分辨率和小工作距离的二次电子图像
In-Beam背散射电子探测器-镜筒内的背散射电子探测器，提供小工作距离的背散射电子图像
彩色阴极荧光探测器-可伸缩式，探测范围350nm-850nm
探针电流测量
报警测量-当样品触碰样品室任何部位的情况下停止移动样品台
CCD样品室观察系统-用于观察样品室情况的红外摄像机

能谱仪：2台
标配 2 个电制冷型SDD硅漂移晶体探头 (Peltier-cooled SDD)。
专用数字多通道脉冲处理器：可接多至4个能谱探头，实现电镜、能谱数据指令与操作系统的直接传输
EDS探测器面积：每个30 mm 2，共60 mm 2
EDS 探测窗口类型： Si3N4 厚度< 100 nm
最佳分辨率：129 eV（Mn Kα）
探测元素范围： C6 ~ Am95
出射角： 35°
分析工作距离： 15 mm

拉曼模块：具有拉曼分析功能
 内置于SEM中的Piezo样品台，扫描范围250 um * 250 um * 250um，且精度小于2nm
 电镜内共聚焦拉曼成像空间分辨率：XY方向优于500nm （532 nm激光），Z方向优于1500nm（532 nm激光），可以实现电镜内共聚焦拉曼2D和3D成像
 激光器：共三个，激光波长分别为473nm， 532 nm和633nm，可软件输入样品表面激光功率，全自动改变样品表面激光功率，精度好于0.1mw
 光谱仪焦长≥ 300 mm；配置150, 600和1800刻线光栅全自动切换，CCD量子效率好于90%
 可在电镜样品室内实现快速共聚焦成像，且最小积分时间≤ 0.01秒。并且采用电镜内收集物镜，积分时间总计300S时，硅三阶峰信噪比≥20:1。
 电镜内配置100X长工作距离物镜。
 配备光谱自动校准光源。
 配备SEM-RAMAN耦合部件，具有相关校准技术，可以把SEM和显微镜白光照片，共聚焦拉曼成像图可在样品表面同一区域进行重叠。

电镜控制：
电镜的所有功能都由键盘、鼠标和轨迹球通过Windows™平台的Essence软件操作实现的。
计 算 机：处理器Intel® Core i7-6700 Quad Core 3.40 GHz, RAM 16 GB, HDD 2TB, AMD FirePro W5100 4GB, Windows 10 Pro 64-bit*
厂商有权根据计算机市场变化更改计算机配置。
显 示 器：3×32寸QHD显示器
图片尺寸：单张图片像素最大为16k×16k像素，具备大面积多幅成像无缝拼接功能。
图片格式：BMP，TIFF，JPEG，GIF，PNG
操作语言：含中文的多语言操作界面。
远程控制：通过TCP/IP

矿物自动分析软件：
可自动进行矿物分类，矿物分析数据结果包括：样品矿物分类、矿物比重含量、元素形态、元素分布、点图谱分析和MSA报告、电镜导航分析；解离分析模块包括自动识别颗粒、自动相识别和分类、矿物共生评价、解离和锁定分类、累积解离率评估、元素面分布、粒度分布、颗粒结构分布、相/粒度谱图重构分析等。
矿物数据库：软件自带数据库的矿物标准包含常见硅酸盐矿物、粘土矿物、金属矿物、稀土矿物、放射性矿物、各种非金属矿物等，数据库矿物种类4700余种。
离线软件：2套

主要功能及特色

本仪器主要包含三部分：常规扫描电镜和能谱，全自动矿物分析系统，共聚焦拉曼成像及拉曼能谱。用户可根据自己的需求使用相应部分的功能，可以SEM，TIMA，Raman每个部分单独使用；也可以两两联用，即SEM和TIMA联用，SEM和Raman联用；当然也可以三部分同时联用，这样更能充分发挥出该仪器的性能。本仪器可广泛运用于地球及环境科学、宝玉石鉴定、材料科学、生命科学、医药科学、物证鉴定、技术监督等领域，可反映样品材料的表面形貌特征、元素组成、分子组成（官能团信息）、结晶度、以及应力、取向等信息。

主要附件及配置

牛津WITEC共聚焦拉曼成像系统RISE，布鲁克能谱仪，二次电子探测器，矿物自动分析软件TIMA，TIMA专用能谱仪等