主要规格及技术指标

➢ 电子枪：场发射FEG；
➢ 加速电压：80-300kV；
➢ 点分辨率：0.21nm；线分辨率：0.102nm；信息分辨率：0.17nm；
➢ 放大倍数：25X~1050kX (x20倍)；
➢ 样品倾角范围：<30°；
➢ 高灵敏度大尺寸CCD：2048×2048像素。

主要功能及特色

可对各种材料进行常规电子显微结构表征，主要包括：形貌分析、衍射图分析、衍衬分析、元素成份分析等，广泛应用于物理学、化学、材料学、地质学等领域的科学研究；高灵敏度大尺寸CCD大幅度提高了高分辨像的图像质量。

主要附件及配置

配置Bruker XFlash Detector能谱。该能谱采用硅漂移（SDD）电制冷探测器，具有60 mm2有效活区面积；能量分辨率130eV，能谱分析元素范围5B-92U；单探测器输出最大计数率600,000CPS，可处理最大计数率优于1,500,000CPS；具有STEM模式点、线、面分析功能，可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上，支持最大像素点4096*4096，并以该图为中心做微区分析。